【内容简介】
本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和进行MEMS研究与生产的必备技术参考书，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，全面介绍了传感器及执行器各个领域中与MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。特别是本书提供了大量的参考文献，为读者参考国内外相关研究情况提供了全面的背景资料。全书共分九章，除对微机械加工器件和微机械加工技术做了详细介绍外，还对利用该技术开发的各类传感器和执行器进行了介绍，如力学,光学,电离辐射,热学,磁和电磁学,化学,生物以及微流体器件.
本书可供MEMS及相关领域的专家学者、科研技术人员以及大专院校师生查阅使用。
　

【作者】： [美] 格雷戈里T.A.科瓦奇
【出版社】：科学工业出版社

【书号】：7-03-010565-6/TH.80
【开本】：16
【出版日期】：2003-1-1